案例一：新松某半導(dǎo)體企業(yè)復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人項(xiàng)目

（1）項(xiàng)目描述

某半導(dǎo)體企業(yè)從2015年開始陸續(xù)應(yīng)用了沈陽新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司的復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人，復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人分別應(yīng)用于工廠的加工和物流區(qū)域，主要用于半導(dǎo)體材料的搬運(yùn)，通過機(jī)器手臂將物料自動(dòng)抓取到各加工設(shè)備中，來實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)。移動(dòng)機(jī)器人本體及協(xié)作手臂均由新松機(jī)器人公司提供。

圖：新松復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人

（2）難點(diǎn)及創(chuàng)新點(diǎn)

1、采用激光slam導(dǎo)航技術(shù)停車定位精度±10mm；

2、機(jī)器臂末端采用3D視覺補(bǔ)償，定位精度±0.5mm ；

3、車間為潔凈環(huán)境，設(shè)備潔凈等級(jí)滿足Class 100；

4、自動(dòng)更換電池技術(shù)，復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人可連續(xù)24小時(shí)運(yùn)行，滿足用戶7x24小時(shí)不間斷工作；

5、復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人運(yùn)貨量大，機(jī)械臂最大負(fù)載20KG，移動(dòng)機(jī)器人最大負(fù)載200KG，綜合性價(jià)比高；

6、機(jī)械臂自動(dòng)更換夾爪，可以搬運(yùn)多種物料；

7、走行速度60m/min無級(jí)變速；

8、為了滿足不同物料機(jī)械臂臂展加長，同時(shí)巷道寬度的限制移動(dòng)機(jī)器人寬度受限，考慮了復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人的重心及穩(wěn)定性設(shè)計(jì)。

（3）效益或影響

復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人推出當(dāng)年，就成功地將其應(yīng)用到某企業(yè)的數(shù)字化智能工廠中，在該行業(yè)內(nèi)起到一定示范作用的同時(shí)也積累了復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人是新松公司最早應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的，也推動(dòng)了這一行業(yè)應(yīng)用復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人的認(rèn)可和使用。采用復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人搬運(yùn)方式可大大減少車間人員數(shù)量（減少約80%）、大大減少搬運(yùn)次數(shù)（調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)化最優(yōu)配送方案），提高作業(yè)準(zhǔn)確率200%。尤其在新冠疫情期間，其他企業(yè)面臨人員不能正常到崗情況下，復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人卻可在客戶的工廠里24小時(shí)穿梭，有效的保證了用戶的生產(chǎn)效率和經(jīng)濟(jì)效益。

案例二：優(yōu)艾智合晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人項(xiàng)目

（1）項(xiàng)目描述

某全球領(lǐng)先半導(dǎo)體晶圓廠為解決每日繁重的SMIF POD上下機(jī)臺(tái)任務(wù)，引入YOUIBOT智能物流解決方案，通過3臺(tái)優(yōu)艾智合晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人，搭載YOUIFLEET調(diào)度管理系統(tǒng)和YOUITMS物流管控系統(tǒng)，完成機(jī)臺(tái)與電子料架之間的自動(dòng)化上下料和車間物流數(shù)據(jù)全流程精細(xì)化管理，實(shí)現(xiàn)晶圓車間柔性化智能化生產(chǎn)。

圖：晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人OW8在半導(dǎo)體車間應(yīng)用

（2）難點(diǎn)及創(chuàng)新點(diǎn)

技術(shù)難點(diǎn)：

1、視覺定位精度要求±1mm。

2、高頻次轉(zhuǎn)運(yùn)需求對(duì)節(jié)拍要求嚴(yán)苛，人工一次只能搬一個(gè)晶圓盒，晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人一次最多可搬運(yùn)8個(gè)晶圓盒。

3、震動(dòng)容易對(duì)晶圓產(chǎn)生裂紋，晶圓搬運(yùn)過程對(duì)震動(dòng)要求極其嚴(yán)格，晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人在作業(yè)時(shí)穩(wěn)定運(yùn)輸狀態(tài)振動(dòng)均值遠(yuǎn)小于 0.1G。

創(chuàng)新點(diǎn)：

1、市面普遍機(jī)器人最多設(shè)有4儲(chǔ)位，部分工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求達(dá)到6個(gè)SMIF Pod，無法滿足工藝需求，OW8晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人擁有目前業(yè)界最多的儲(chǔ)位，設(shè)有8儲(chǔ)位以及料位智能化管理，滿足所有工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求。

2、可取放300-2300mm，目前業(yè)界最高晶圓盒上下料作業(yè)高度和最低作業(yè)高度優(yōu)勢(shì)，提高FAB的空間利用率。

3、人工維修高架地板會(huì)產(chǎn)生坑洞，晶圓盒搬運(yùn)機(jī)器人自帶檢測(cè)坑洼的傳感器，防止跌入。

4、打通不同工藝流程之間物質(zhì)流和信息流，生產(chǎn)物流數(shù)據(jù)全流程可追溯，實(shí)現(xiàn)車間生產(chǎn)可視化和生產(chǎn)過程運(yùn)營管控。

（3）效益或影響

半導(dǎo)體生產(chǎn)車間潔凈等級(jí)高、布局復(fù)雜、空間狹小、設(shè)備種類繁多，優(yōu)艾智合通過移動(dòng)機(jī)器人多機(jī)協(xié)同打通離散生產(chǎn)環(huán)節(jié)，高效助力企業(yè)柔性生產(chǎn)。同時(shí)，利用移動(dòng)操作機(jī)器人實(shí)現(xiàn)工藝設(shè)備間的自動(dòng)傳送、存儲(chǔ)及分發(fā)，打通制程中的復(fù)雜工序，有效提升設(shè)備稼動(dòng)率、降低人工錯(cuò)誤發(fā)生率。做到0輻射，避免人工搬運(yùn)方式存在的人體輻射傷害風(fēng)險(xiǎn)；0污染，減小無塵車間污染帶來的風(fēng)險(xiǎn)，提升良品率；震動(dòng)小，避免人工搬運(yùn)帶來的損壞問題，降低50%震動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)；提效，減少操作員30%無效行走；提升空間利用率，提高電子料架利用率66%。

案例三：達(dá)明復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人晶圓盒上下料項(xiàng)目

（1）項(xiàng)目描述

某著名半導(dǎo)體工廠應(yīng)用了達(dá)明復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人-TM12M進(jìn)行晶圓盒上下料，基于激光SLAM的混合定位導(dǎo)航技術(shù)，實(shí)現(xiàn)室內(nèi) ±5mm的重復(fù)定位精度，有效對(duì)接各種設(shè)備；導(dǎo)入TM landmark 專利應(yīng)用，復(fù)合機(jī)器到位后，達(dá)明機(jī)器人通過自帶視覺完成晶圓盒的高精度上下料。

圖：達(dá)明復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人應(yīng)用于晶圓盒上下料

（2）難點(diǎn)及創(chuàng)新點(diǎn)

1、導(dǎo)入達(dá)明自帶視覺協(xié)作機(jī)器手臂-TM12M及TM landmark 后，復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人也可輕松應(yīng)用在高精精度作業(yè)站別, 并且也可以十分輕松地完成調(diào)試及復(fù)制；

2、空間定位精度±0.5mm ( AGV 定位精度±5mm ; 通過TMvision + TM Landmark,將空間定位精度做到±0.5mm以內(nèi))

3、達(dá)明機(jī)器人通過Eye in Hand / New base (Golden Port) 快速教點(diǎn)，輕松地完成調(diào)試及復(fù)制；

4、更簡易的部署：自動(dòng)構(gòu)建地圖，無需場(chǎng)景改造。具備多種應(yīng)用模塊與通用標(biāo)準(zhǔn)接口，直接對(duì)接企業(yè) MES / WMS 信息系統(tǒng)，無需定制開發(fā)；

5、更智能的控制：最新一代移動(dòng)機(jī)器人分布式控制系統(tǒng)，機(jī)器人單機(jī)作業(yè)與多機(jī)調(diào)度切換自如；

6、更平穩(wěn)的移動(dòng)：采用6輪懸掛系統(tǒng)，過縫過坎平穩(wěn)順滑，減輕振動(dòng)；自動(dòng)均衡負(fù)載，移動(dòng)更加平穩(wěn)。

7、更安全的防護(hù): 搭載兩顆安全激光雷達(dá)，覆蓋機(jī)器人360°無死角；

8、更強(qiáng)大的調(diào)度: 智能劃分作業(yè)場(chǎng)景，不同場(chǎng)景下自動(dòng)切換工作模式，動(dòng)態(tài)任務(wù)分配、智能交通管制、同場(chǎng)景多機(jī)調(diào)度，支持100臺(tái)機(jī)器人的實(shí)時(shí)監(jiān)控與調(diào)度；

9、更持久的工作: 每一臺(tái)機(jī)器人都支持自動(dòng)充電、手動(dòng)充電與快速換電，最快30s即可讓機(jī)器人重新回到工作站點(diǎn)，保證24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行與快速響應(yīng)；

（3）效益或影響

為客人打造專屬的智能設(shè)備, 創(chuàng)造共生互利的競(jìng)爭優(yōu)勢(shì)，制造效能的提升或是制造良率的提升，對(duì)整個(gè)的制造業(yè)有一個(gè)很正面的一個(gè)效益，并且得到客戶的肯定，為客人帶來智慧物流專案，幫助合作伙伴節(jié)省人力，并共同邁進(jìn)關(guān)燈智能工廠。

案例四：迦智科技國內(nèi)知名半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)部智能物流搬運(yùn)項(xiàng)目

（1）項(xiàng)目描述

項(xiàng)目用戶是國內(nèi)知名的半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，面對(duì)市場(chǎng)柔性化的生產(chǎn)需求，亟需提升廠內(nèi)物料搬運(yùn)的靈活性和穩(wěn)定性。

迦智科技為其提供了涵蓋數(shù)臺(tái)復(fù)合移動(dòng)作業(yè)機(jī)器人、EMMA400舉升車、EMMA400升降輥筒車以及自動(dòng)充電樁、服務(wù)器、調(diào)度系統(tǒng) CLOUDIA等在內(nèi)的整套智能物流解決方案，高效解決了生產(chǎn)原料、半成品等在晶圓生產(chǎn)線各工序設(shè)備間的自動(dòng)化流轉(zhuǎn)和上下料，大幅提升了生產(chǎn)效率。

圖：迦智科技復(fù)合移動(dòng)機(jī)器人

（2）難點(diǎn)及創(chuàng)新點(diǎn)

1、無塵潔凈室空間高效作業(yè)：迦智科技的自然導(dǎo)航AMR滿足百級(jí)無塵車間的作業(yè)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，無需提前改造，即可快速部署應(yīng)用于現(xiàn)有產(chǎn)線中，并可隨時(shí)滿足用戶產(chǎn)線優(yōu)化調(diào)整需要，減少二次投入成本；

2、全程無人參與，安全穩(wěn)定運(yùn)輸：針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)物料易碎易損的特性，迦智全柔性自然導(dǎo)航AMR底盤+協(xié)作機(jī)械臂的智能集成，采用自研的激光SLAM融合導(dǎo)航技術(shù)，路徑規(guī)劃靈活，環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)，支持多機(jī)協(xié)作、人機(jī)協(xié)作，智能停避障，保障了物料配送的及時(shí)安全性，所有物流信息通過可視化的實(shí)時(shí)管理一目了然；

3、實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體精密元件的精準(zhǔn)抓取、放置，滿足產(chǎn)品良率要求：通過視覺輔助技術(shù)和機(jī)械臂伺服運(yùn)動(dòng)規(guī)劃，成功達(dá)到了用戶需求的1mm 級(jí)高精度對(duì)接要求，確保物料轉(zhuǎn)運(yùn)安全穩(wěn)定，非常適用于3C、泛半導(dǎo)體領(lǐng)域等高精密度作業(yè)需要。

（3）效益或影響

項(xiàng)目成功實(shí)施后，充分滿足了用戶的排產(chǎn)需求，助力產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率，有效降低人力成本，增強(qiáng)企業(yè)柔性生產(chǎn)能力。

案例五：優(yōu)艾智合彈夾轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)器人OM-T12

（1）項(xiàng)目描述

針對(duì)某被動(dòng)元器件國內(nèi)龍頭企業(yè)，優(yōu)艾智合助力該企業(yè)實(shí)現(xiàn)黃光一體化車間自動(dòng)化升級(jí)改造，實(shí)現(xiàn)黃光車間印刷、曝光、顯影三大工序機(jī)臺(tái)的自動(dòng)化上下料以及工序機(jī)臺(tái)間的物料轉(zhuǎn)運(yùn)，解決現(xiàn)有員工上料不及時(shí)、上錯(cuò)料、信息跟蹤困難的問題。

物料轉(zhuǎn)運(yùn)系統(tǒng)由YOUITMS物流管理系統(tǒng)、YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)和移動(dòng)操作機(jī)器人組成；YOUITMS物流管理系統(tǒng)對(duì)接客戶MES系統(tǒng)，獲取生產(chǎn)訂單進(jìn)行排程調(diào)度，并將合并后的訂單下發(fā)給YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)，YOUIFLEET調(diào)度移動(dòng)操作機(jī)器人，移動(dòng)機(jī)器人本體設(shè)有多個(gè)料藍(lán)（生產(chǎn)物料載體）緩存位，完成物料的轉(zhuǎn)運(yùn)及自動(dòng)上下料。

圖：優(yōu)艾智合彈夾轉(zhuǎn)運(yùn)機(jī)器人OM-T12在半導(dǎo)體分立器件車間應(yīng)用

（2）難點(diǎn)及創(chuàng)新點(diǎn)

技術(shù)難點(diǎn)：

1、客戶車間均為緊湊型車間，復(fù)合協(xié)作機(jī)器人需在1100mm的過道中上下料。

2、客戶的機(jī)臺(tái)上下料位置很低且空間狹小，通過末端執(zhí)行機(jī)構(gòu)的特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)解決了此問題。

3、機(jī)臺(tái)對(duì)于上下料的精度有嚴(yán)格要求。

創(chuàng)新點(diǎn)：

1、移動(dòng)操作機(jī)器人對(duì)物料上的識(shí)別碼進(jìn)行確認(rèn)與記錄，業(yè)務(wù)系統(tǒng)可通過看板跟蹤物料流轉(zhuǎn)信息；

2、移動(dòng)操作機(jī)器人可輕松通過半導(dǎo)體車間內(nèi)的窄小過道，再通過YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)使移動(dòng)操作機(jī)器人不會(huì)在過道形成擁堵，多臺(tái)機(jī)器人根據(jù)不同業(yè)務(wù)需求協(xié)同配合；

3、移動(dòng)操作機(jī)器人高精度定位與機(jī)械臂上的視覺補(bǔ)償支持自動(dòng)化上下料對(duì)接，YOUITMS對(duì)接客戶的MES系統(tǒng)，接受任務(wù)訂單，傳遞物料運(yùn)轉(zhuǎn)信息；

4、數(shù)據(jù)分析，實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)物流數(shù)據(jù)；

5、在智能移動(dòng)機(jī)器人系統(tǒng)實(shí)踐過程中,巧妙利用工業(yè)相機(jī)、傳感器和智能化決策系統(tǒng)等多種關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì),使得機(jī)器人具有更多智能范圍的能力。這一創(chuàng)新應(yīng)用幫助更多制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)“智造”升級(jí)；

（3）效益或影響

大大降低工人的工作強(qiáng)度，減少操作人員30%無效行走;打通各個(gè)環(huán)節(jié)的物料交接信息流,省去了大量人工交接時(shí)的紙質(zhì)單據(jù)；減少人工作業(yè)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化上下料，提高生產(chǎn)效率33%，提升產(chǎn)品良率78%;實(shí)時(shí)反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，提高信息透明度，降低機(jī)臺(tái)出錯(cuò)率。節(jié)約白班+夜班勞動(dòng)力節(jié)工20人；投資回報(bào)率：回本周期1.6年。